合肥芯碁微电子装备股份有限公司(证券简称：芯碁微装，证券代码688630)，成立于2015年6月。位于合肥市高新区集成电路产业基地，专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产。

公司坚持自主研发与创新，拥有完整的自主知识产权。自成立以来，公司获得90多项技术专利，并获批建立了 “外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。先后荣获“科技小巨人培育企业”、“合肥市直写光刻设备工程技术研究中心”、“国家高新技术企业”、“2018年度中国电子电路行业百强企业”等多项殊荣。公司产品也先后获得2018年安徽省首台（套）重大技术装备、2019年“创客中国”中小企业创新创业大赛全国二等奖和中国创新创业大赛先进制造行业全国二等奖。